?? 樣品臺 - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
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樣品臺
編號:SN20170616132406935
類別:系列升降樣品臺
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

        沈陽科儀公司生產的樣品臺采用先進的設計工藝、模塊化設計,通過不同的模塊組合,可實現大小升降差動、高溫抗氧化、自轉等功能。SKY樣品臺適用于各種先進的薄膜生長和沉積技術,包括MBE、PLD、磁控濺射和EB等,也可用于襯底退火、高溫除氣和材料改性。

     

    產品優勢
        1、襯底最高加熱溫度1100℃;
        2、可接入RF/DC;
        3、持續旋轉,轉速60轉/分;
        4、模塊化設計允許多種組合配置選擇;
        5、樣品尺寸容納8英寸以下。

     

    結構特點
        1、直流或射頻偏壓引入模塊;
        2、小升降調節模塊;
        3、大升降調節模塊;
        4、擋板模塊;
        5、加熱器及熱偶模塊;
        6、零點定位。

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