?? 沈陽科儀真空干泵正式進駐中芯國際(北京) - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
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沈陽科儀真空干泵正式進駐中芯國際(北京)

 

 

由中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司(以下簡稱沈陽科儀)承擔實施的“十一五”國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”——“干泵與系列真空閥門產品開發與產業化”項目于20154月通過驗收。

該項目產品繼今年6月通過中芯國際(深圳)8寸生產線測試并實現批量采購后,又分別通過了中芯國際(北京)12寸生產線和武漢新芯12寸生產線PVD工藝測試。1125日,沈陽科儀按期交付中芯國際(北京)第一批真空干泵28臺采購訂單,打破了國外產品在該領域持續多年的強力壟斷,成功實現了國產化替代。產品經過產業化驗證和應用,性能穩定,服務和產品價格與國外同類產品相比具有明顯優勢,不但能夠為國產集成電路工藝設備提供核心附屬設備,也可以在進口工藝設備上進行替換使用。

目前,沈陽科儀是國內唯一能夠為集成電路工藝設備制造廠商和FAB工廠批量生產真空干泵的廠家。未來幾年,國內規劃建設的12寸晶圓制造廠達到10座以上,真空干泵的市場需求潛力巨大,需求量達5萬臺以上。沈陽科儀將持續努力,為實現我國在該領域的崛起貢獻出自己的一份力量。



 
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