?? 沈陽科儀公司王光玉獲“中國真空科技青年創新獎” - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
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沈陽科儀公司王光玉獲“中國真空科技青年創新獎”

沈陽科儀公司真空干泵事業部總經理王光玉于近日獲得由中國真空學會頒發的“中國真空科技青年創新獎”,成為本年度該獎項的唯一獲獎人,該獎項由中國真空學會設立,每兩年評選一次。 

王光玉從業二十余年,先后獲得遼寧省科技進步獎、教育部科技進步獎、沈陽市科技進步獎等榮譽及獎項6項;發表學術論文4篇;申請國家專利50項,其中PCT3項,發明專利39項,其他專利8項。作為項目(課題)負責人,王光玉曾主持實施國家重大科學儀器設備開發專項項目1項、國家科技重大專項課題2項;曾作為項目骨干參與國家863計劃課題1項,承擔中科院、遼寧省、沈陽市及渾南區各級科學技術計劃項目10余項。 

作為技術負責人,王光玉帶領團隊研制開發出了羅茨干泵、渦旋干泵等兩類國內首創的無油真空獲得產品,實現了集成電路生產線五大關鍵部件之一的干泵與真空閥門的產品化和國產化,填補了同類產品的國內空白,徹底改變了我國真空行業真空獲得產品幾十年來高噪音、高能耗、高污染的狀況,被業內認為是行業真空獲得產品的一次革命,使沈陽科儀公司成為了目前為止國內唯一一家能夠生產集成電路工藝用干泵的生產廠家。 



 
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