?? LMBE450超高真空激光分子束外延薄膜沉積系統 - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
PRODUCT

產品中心

首頁 ? 產品中心 ? PVD鍍膜設備 ? 激光鍍膜設備

LMBE450超高真空激光分子束外延薄膜沉積系統
編號:2
類別:激光鍍膜設備
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途

        用于生長光學晶體、鐵電體、鐵磁體、超導體和有機化合物薄膜材料,適用于生長高熔點、多元素及含有氣體元素的復雜層狀超晶格薄膜材料。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。

     

    設備組成

        系統由真空腔室(外延室、進樣室)、樣品傳遞機構、樣品架、旋轉靶臺、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計算機控制等各部分組成。

    外延室

    極限真空優于:6.0x10-8Pa;

    抽速:20分鐘可達到6x10-3Pa;

    靶材尺寸:4x2英寸或6x1英寸;

    樣品尺寸:2英寸x1片;

    樣品溫度:800℃;

    真空系統:離子泵系統;

    進樣室

    極限真空優于:6x10-5Pa;

    抽速:20分鐘可達到:6x10-3Pa;

    送樣:磁力傳遞桿;

    真空系統:分子泵系統;

    其他

    觸摸屏點動控制:1套;

    冷卻水路系統:1套;

    高能電子衍射儀:1套;

    激光束掃描裝置:1套;

    氧等離子體發生器:1套;

    激光器:1套(選配)。

    公司:中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 

    地址:沈陽市渾南新區新源街1

    銷售電話:024-23826899、024-23826855

    售后電話:024-23826838

    傳真:024-23826828

    郵箱:sales@sky.ac.cn

    網址:www.benoithamon.com

    開戶行:建行沈陽渾南新區產業園分理處

    賬號:2100 1394 6010 5958 1266

    納稅號:912101 0041 0581 2660

留言咨詢 (* 為必填項目)
* 姓名
* 內容
* 驗證碼
 
QQ在線咨詢
在線QQ客服
3249891528
咨詢熱線
024-23826855
新用户送38彩金白菜网