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產品中心
設備用途
用于生長光學晶體、鐵電體、鐵磁體、超導體和有機化合物薄膜材料,適用于生長高熔點、多元素及含有氣體元素的復雜層狀超晶格薄膜材料。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
設備組成
系統由真空腔室(外延室、進樣室)、樣品傳遞機構、樣品架、旋轉靶臺、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計算機控制等各部分組成。
外延室
極限真空優于:6.0x10-8Pa;
抽速:20分鐘可達到6x10-3Pa;
靶材尺寸:4個x2英寸或6個x1英寸;
樣品尺寸:2英寸x1片;
樣品溫度:800℃;
真空系統:離子泵系統;
進樣室
極限真空優于:6x10-5Pa;
抽速:20分鐘可達到:6x10-3Pa;
送樣:磁力傳遞桿;
真空系統:分子泵系統;
其他
觸摸屏點動控制:1套;
冷卻水路系統:1套;
高能電子衍射儀:1套;
激光束掃描裝置:1套;
氧等離子體發生器:1套;
激光器:1套(選配)。
公司:中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
地址:沈陽市渾南新區新源街1號
銷售電話:024-23826899、024-23826855
售后電話:024-23826838
傳真:024-23826828
郵箱:sales@sky.ac.cn
網址:www.benoithamon.com
開戶行:建行沈陽渾南新區產業園分理處
賬號:2100 1394 6010 5958 1266
納稅號:912101 0041 0581 2660