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激光晶體生長爐
編號:SN20150801140701480
類別:激光晶體生長爐
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途
    藍寶石晶體生長爐主要用于制備藍寶石晶體,可廣泛應用于LED行業及手機、平板電腦等領域。

    設備組成
    藍寶石晶體生長爐主要由整機底座、真空爐系統、晶體拉伸系統、抽氣系統、真空測量系統、供氣系統、加熱系統、控制系統、熱場、水路系統、輔助系統等組成。

     

    技術指標

     

    型號

    TDL80E

    冷態空爐極限真空度

    1Pa

    爐體

    800×1300mm

    籽晶桿

    爐內行程

    600mm

    轉速/精度

    0-20rpm±1%

    提拉速度連續可調范圍/精度

    0.1-50mm/h±1%

    快提拉速度連續升降可調

    150mm/min

    額定總功率

    80kw

    循環水用量

    10 m3/h

    真空配置

    羅茨干泵機組、插板閥

    真空測量系統

    測量范圍:大氣壓到1×10-3Pa

    自動控制系統

    PLC全自動運行程序

    設備占地面積(長×寬×高)

    2000×1200×3500mm3

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