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導模法(EFG)藍寶石晶體生長爐
編號:SN20150801140121295
類別:導膜法(EFG)寶藍石晶體生長爐
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    產品優勢:
    1、生長速度快,周期短(2-3天/爐),成本低,易于穩定量產。
    2、成熟的設備制造技術和長晶工藝,且長晶工藝靈活,可根據客戶需要調整。
    3、可多片同步生長,同質同量,產能大幅提高,晶體坯料易加工,加工成本低,且長晶能耗低,成本可大大降低。
    4、設備及熱場穩定性好,重復性高,主要熱場部件可使用2年以上。
    5、采用觸摸屏,PAC全自動操作系統,人性化的人機對話系統,操作簡便。
    6、擁有研發基地,可驗證長晶,為客戶提供專業的技術培訓、設備操作和工藝指導。
    7、規?;难邪l基地,可同時進行技術驗證與創新,確保產品與技術的成熟性和前沿性,持續將公司最新研發成果快速與客戶共享。
    8、配置真空安全保護裝置,安全性能更高。
    9、精密穩定的提拉系統,專利設計,控制精度高,傳動平穩,抗干擾能力強,更利于晶體生長。


    性能參數

    類型

    導模法

    爐體

    800×1300mm

    冷態空爐極限真空度

    ≤6.6×10-4Pa

    籽晶桿

    爐內行程

    1000mm

    提拉速度連續可調范圍/精度

    0.1-50mm/h±1%

    快提拉速度連續升降可調

    100-150mm/min

    真空配置

    分子泵、機械泵、插板閥

    真空測量系統

    測量范圍:大氣壓到1×10-5Pa

    自動控制系統

    PAC全自動運行程序

    循環水用量

    ≥8 m3/h

    額定總功率/頻率

    80kw/2500Hz

    設備占地面積(長×寬×高)

    2200×1200×4000mm3 

     

    技術指標:

    項目

    指標

    最大使用功率

    30kw

    長晶周期

    70H

    單爐能耗

    1200kw.H

    晶片規格

    雙片,多片(16-24片),異形件(管、棒、拱形件等);也可根據客戶要求定制規格。

    投料量

    5-6kg或可連續加料

    取材率

    80%

    成本

    ¥600/kg

     

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