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首頁 ? 產品中心 ? 真空獲得設備 ? 系列羅茨與爪型干式真空泵
產品優勢
JGM、JGH系列多級干式真空泵，結合羅茨與爪型轉子吸氣原理，通過多級轉子的優化組合，最大限度利用了多級羅茨干泵與爪型干式真空泵的優勢，從而在較寬的壓力范圍內獲得較大的實際抽速，高效地實現了潔凈真空環境的獲得。
1、高清潔度的真空環境
2、整機高可靠性
3、穩定的運轉性能
4、自適應智能控制
5、工藝安全性
6、客戶優質服務
產品原理
多級干式真空泵采用了羅茨轉子與爪型轉子組合的結構，充分利用了羅茨轉子在低壓區抽氣高效，爪型轉子在高壓區抽氣高效的特點，同時融合了爪型轉子抽氣通道短，壓縮氣體產生熱量更高的特點，其性能相對于傳統單純爪型或單純羅茨真空泵更具優勢。
產品應用領域
重點應用：
集成電路、太陽能電池、LED領域，可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程，也可用于PVD、刻蝕、多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。
其他應用：
真空冶金（回火和退火、鋼脫氣，表面處理熔化，精煉，鑄造和焊接等）；
真空鍍膜系統（玻璃鍍膜、精密光學等）；
真空包裝、食品、化工、醫藥、電機制造等工業蒸餾、蒸發、干燥等。
沈陽科儀公司從事真空泵的銷售和生產服務長達13年，更于 2011年8月底在沈陽建立了真空干泵維修線并正式開始運營干泵維修業務，目前月維修量百余臺套。我們對常用的泵種有豐富的零部件儲備庫，目前可維修真空泵的品牌包括：Alcatel、Edwards、EBARA、Busch、KASHIYAMA、Leybold、Pfeiffer、Varian、ULVAC 。
服務承諾
1.為客戶提供解決方案式服務，協助用戶建立產品維護保養體系，提高產品使用壽命，降低影響生產風險；
2.2小時響應，4小時確定解決方案；
3.根據故障情況及客戶要求提供最佳形式服務（現場維修、返廠維修等）；
4.專人駐廠或定時巡檢；
5.突發事件提供快速通道式處理服務。
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