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產品中心
設備用途
適用于制備金屬薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作。
設備組成
該設備主要由金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。
極限真空度:6x10-5Pa;
抽速:6x10-4Pa≤30min;
樣品尺寸:100x100mm;
樣品臺溫度:300℃;
有機束源爐組件:2套;
熱阻蒸發源組件:2套;
分子泵系統:1套;
自動控制系統:1套;
膜厚監測儀(1個探頭):1套;
冷卻水路系統:1套。
地址:沈陽市渾南新區新源街1號
銷售電話:024-23826899、024-23826855
售后電話:024-23826838
傳真:024-23826828
郵箱:sales@sky.ac.cn
網址:www.benoithamon.com
開戶行:建行沈陽渾南新區產業園分理處
賬號:2100 1394 6010 5958 1266
納稅號:912101 0041 0581 2660
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